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    伯东贸易(深圳)有限公司

    电子元器件,仪器仪表

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    美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

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    企业旺铺http://www.gdmaoyi.com/com/hakuto/

    更新日期2020-09-14 14:20

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    电子邮箱:crystal-tan@hakuto.com.hk

    联系固话:0755-25473928

    联系地址:深圳市罗湖区桂园街道宝安南路1036号鼎丰大厦501#-505B#、511-513#,

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    商品信息

    基本参数

    品牌:

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    所在地:

    广东 深圳市

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    有效期至:

    长期有效
    详细说明

    产品描述

    上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组能应用于宽范围的衬底离子源长度高达 1 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流由于模组是平行放置大大简化了气体功率和电子三者的分布.

    KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化一个低成本高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

    尺寸直径= 3.7 = 3

    放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A

    操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

    美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear 技术参数:

    伯东KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数:

    型号

    eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

    供电

    DC magnetic confinement

    电压

    40-200V VDC

    阳极结构

    模块化

    电源控制

    eHL-30010A

    配置

    -

    阴极中和器

    Filamentless

    离子束发散角度

    > 45° (hwhm)

    阳极

    标准或 Grooved

    底座

    移动或快接法兰

    高度

    10 cm

    宽度

    10 cm

    长度

    ~ 100cm

    -工艺气体

    Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

     

    Model

    eHL 200-3

    eHL 200-5

    Height (nominal)

    2.9” (7.4cm)

    2.9” (7.4cm)

    Width (nominal)

    3.3” (8.4cm)

    3.3” (8.4cm)

    Length (nominal)

    Determined by number of modules & application

    Determined by number of modules & application

    Cathode/Neutralizer

    Yes

    Yes

    Anode module

    Yes

    Yes

    Filamentless

    Yes

    Yes

    Orientation

    Vertical / Horizontal

    Vertical / Horizontal

    Process gases

    Inert, reactive, & organic

    Inert, reactive, & organic

    Power controller

    eH Plasma Power Pack

    eH Plasma Power Pack

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